Шпаргалка по осаждению — но выбрать по ней метод нельзя Испарение, магнетрон, PLD, CVD, PECVD, ALD: температуры, давления, скорости, материалы, ограничения. Таблица показывает типичные диапазоны, а решение упирается в подложку. ALD выглядит победителем: атомный контроль, однородность по площади и по толщине. Но 0,05–0,2 нм за цикл — на плёнку в 10 нм уйдёт 50–200 циклов, и так на каждой пластине. Испарение — другой полюс: до 1000 нм/мин, простая камера, дёшево. Взамен — слабая адгезия и только металлы. Магнетрон посередине: 1–100 нм/мин, металлы, оксиды, нитриды, полупроводники. Поэтому на заводах чаще он, а не PLD с факелом и площадью в пару сантиметров. Три вопроса: — что выдержит подложка (PECVD 50–400 °C против CVD 200–1100 °C); — нужна ли конформность на рельефе (нужна — ALD, скорость уже не важна); — сколько пластин в час (много — снова не ALD). Таблица — карта компромиссов. Точку на ней ставит подложка. Источник: Thin Film Engineer Чем работаете вы? #тонкиеплёнки #PVD #CVD #ALD
Металлург о материалах, которые решают: редкозёмы, магниты, сплавы, сварка. Раз в неделю — разбор, раз в месяц — индекс цен на критические металлы. Без хайпа: что работает на заводе, а что осталось в презентации.
Статистика канала
Число подписчиков
Последние посты
Канал «Материалы и Технологии» подключен к сервису MaxGate. Контент автоматически синхронизируется между Telegram и мессенджером MAX.
Подключить кросспостингДругие каналы в категории «Технологии»
О канале «Материалы и Технологии»
«Материалы и Технологии» - канал из категории «Технологии», подключенный к сервису кросспостинга MaxGate. Публикации канала синхронизируются между Telegram и мессенджером MAX, а на этой странице собраны ссылки на обе версии канала.
Сейчас у канала 397 подписчиков суммарно в Telegram и MAX. За последние 25 дней в истории MaxGate учтено 16 публикаций, поэтому перед подпиской можно оценить не только размер аудитории, но и регулярность обновлений.
Чтобы подписаться, используйте кнопки «Открыть в MAX» и «Открыть в Telegram» в верхней части страницы. У отдельных постов ссылка может быть доступна в обоих мессенджерах или только в одном из них, если MaxGate получил такой URL из истории обработки.
